hyacinth射頻電源維修HTMV/HTEV系列 hyacinth電源維修

維修范圍：刻蝕,、RIE,、平行板,、ICP、pecvd,、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng),，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源,，烘干,、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源,，直流偏壓和硬鍍膜,，信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備,。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修,，為太陽能光伏、半導(dǎo)體,、液晶面板,、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD,、PECVD,、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源,，包括直流,、高壓、脈沖,、微波,、匹配器、RPSC,、CHILLER射頻電源維修,。

當(dāng)濾波電容上無380VDC左右電壓時(shí)，說明PFC電路沒有正常工作,，PFC模塊關(guān)鍵檢測腳為電源輸入腳VC,，啟動(dòng)腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳,。測試一板上濾波電容上無380VDC電壓,。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常,，測量場效應(yīng)功率開關(guān)管無V0波形,，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機(jī)器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊,，V0信號沒有送到場效應(yīng)管,。將V0端與板上焊點(diǎn)焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓,。當(dāng)Vstart/control端為低電平時(shí),，PFC亦不能工作，則要檢測其端點(diǎn)與外部相連的有關(guān)電路,。

電源電路有易有難,，功率有大有小,，輸出電壓多種多樣。充分熟悉開關(guān)電源的基本結(jié)構(gòu)以及PFC及PWM模塊的特性,，它們工作的基本條件,，按照上述步驟和方法，多動(dòng)手進(jìn)行開關(guān)電源的維修,，就能迅速地排除開關(guān)電源故障,，起事半功倍的效果。